產(chǎn)品介紹
2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn):
ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的多用途、智能化綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā贰B/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā返炔⒖济绹?guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
2.2 儀器成套組成:由ST2258C四探針主機(jī)、選配的四探針探頭、選配四探針測(cè)試臺(tái)等部分組成。
2.3優(yōu)勢(shì)特征:
1:本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)分類(lèi)功能,寬分類(lèi)10類(lèi)。
2:可定制 USB通訊接口,便于其拓展為集成化測(cè)試系統(tǒng)中的測(cè)試模塊。
3:8檔位超寬量程。 同行一般為五到六檔位。
4: 儀器小型化、手動(dòng)/自動(dòng)一體。
5: 儀器操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定,所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤(pán)輸入,簡(jiǎn)便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。
2.4探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。詳情見(jiàn)《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》
1配高耐磨的碳化鎢探針探頭,如ST2253-F01型,以測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;
2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭,如ST2558B-F01型,可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜,也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜,如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。
3配專(zhuān)用箔上涂層探頭,如ST2558B-F02型,也可測(cè)試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。
4換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器的體電阻進(jìn)行測(cè)量。。
2.5測(cè)試臺(tái)選配:根據(jù)不同材料特性需要,測(cè)試臺(tái)可有多款選配。詳情見(jiàn)《四探針測(cè)試臺(tái)型號(hào)規(guī)格特征選型參照表
四探針?lè)y(cè)試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型(電動(dòng))或SZT-C型(快速恒壓)或SZT-F型(太陽(yáng)能電池片)測(cè)試臺(tái)。
二探針?lè)y(cè)試細(xì)長(zhǎng)棒類(lèi)材料選配SZT-K型測(cè)試臺(tái).
平行四刀法測(cè)試橡塑材料選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)。
2.6適用范圍:儀器適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)器件廠(chǎng)、科研單位、高等院校四探針?lè)▽?duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量范圍、分辨率(括號(hào)內(nèi)為可向下拓展1個(gè)數(shù)量級(jí))
電 阻:10.0×10*-6 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10*-6 ~ 0.1×10*3 Ω
(1.0×10*-6 ~ 20.00×10*3 Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×10*3 Ω)
電 阻 率:10.0×10*-6 ~ 200.0×10*3 Ω-cm 分辨率1.0×10*-6 ~ 0.1×10*3 Ω-cm
(1.0×10*-6 ~ 20.00×10*3 Ω-cm 分辨率0.1×10*-6 ~ 0.01×10*3 Ω-cm)
方塊電阻:50.0×10*-6~1000.0×10*3 Ω/□ 分辨率5.0×10*-6 ~ 0.5×10*3 Ω/□
(5.0×10*-6 ~ 100.0×10*3 Ω/□ 分辨率0.5×10*-6 ~ 0.1×10*3 Ω/□)
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
直 徑: SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限
長(zhǎng)(高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測(cè)量方位: 軸向、徑向均可
3.3 量程劃分及誤差等級(jí)
滿(mǎn)度顯示
200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00
測(cè)試電流
0.1μA 1.0μA 10μA 100μA 1.0mA 10mA 100mA 1.0A
常規(guī)量程
kΩ-cm/□ kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
基本誤差
±2%FSB ±4LSB ±1.5%FSB ±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±1.0%FSB ±4LSB
3.4 四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線(xiàn)探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線(xiàn)或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.5. 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:20W