產(chǎn)品介紹
一、結(jié)構(gòu)特征
M3手持式四探針測試儀主機
配ST2253-F01鎢針探頭測試硅
ST2558B-F01薄膜探頭測試ITO膜
二、概述
2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：
M3手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性價比測量儀器。
該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等國標(biāo)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
2.2配套組成：標(biāo)準(zhǔn)配置由M-3型主機、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測試臺當(dāng)臺式機使用。
2.3優(yōu)勢特征：
1美觀適用：彩色流線型手持式面板、帶防滑墊，符合人體工程學(xué)設(shè)計。適合手持式變動場合操作使用，也可以定制小型旅行手提箱包裝，便于野外或旅行使用。
2高精度：帶完善厚度、形狀修正功能，測試準(zhǔn)確。同行中手持式多為簡易程序，沒有完整修正功能，無法修正誤差。
3寬量程：超寬五個檔位，相當(dāng)于中檔臺式機的量程，同行中手持式多為兩到三個檔位，測試范圍有限，適應(yīng)性不廣。
4操作簡便、性能穩(wěn)定：輕觸數(shù)字化鍵盤實現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換，簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定易受干擾。
5手動/自動一體：
6顯示方式美觀清晰：由高亮綠色數(shù)碼和ＬＥＤ數(shù)字表頭顯示，不怕環(huán)境背景暗或野外強光；
7待機和工作時間長（不小于兩天），有大容量可充電鋰電池電池供電，環(huán)保耐用。
2.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規(guī)格特征選型參照表》
1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如ST2253-F01型，以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；
2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如ST2558B-F01型，可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。
3配專用箔上涂層探頭，如ST2558B-F02型，也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。
4換上四端子測試夾具，還可對電阻器的體電阻進行測量。
2.5測試臺選配：根據(jù)不同材料特性需要，測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規(guī)格特征選型參照表》
四探針法測試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動）或SZT-C型（快速恒壓）測試臺。
二探針法測試細長棒類材料選配SZT-K型測試臺.
平行四刀法測試橡塑材料選配SZT-G型測試臺。
2.6適用范圍：手持式使用，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。
。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1.測量范圍、分辨率
電 阻： 0.010Ω～ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω～ 10 Ω
電 阻 率： 0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω～ 10 Ω-cm
方塊電阻： 0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω～ 10 Ω/□
2.可測材料尺寸
手持方式不限材料尺寸，但加配測試臺則由選配測試臺決定如下：
直 徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm。
SZT-C方測試臺直接測試方式180mm×180mm。
長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm。
測量方位: 軸向、徑向均可。
3.量程劃分及誤差等級（括號內(nèi)為拓展量程）
量程（Ω-cm/□）
2.000
（200.0ｍ）
20.00
（2.000ｍ）
200.0
（20.00）
2.000k
（200.0）
20.00k
（2.000k）
電阻測試范圍
0.010～2.200
2.000～22.00
20.00～220.0
0.200～2.200k
2.000～50.00k
電阻率/方阻
0.010/0.050～2.200
2.000～22.00
20.00～220.0
0.200～2.200k
2.000～20.00k/100.0k
基本誤差
±1%FSB±2LSB
±2%FSB±2LSB
4)充電器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電DC3.7V.
5)外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm
凈 重：≤0.3kg
