產(chǎn)品介紹
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 3位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí), 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過(guò)渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門(mén)的3種開(kāi)啟方式: 一個(gè)電磁閥控制閥門(mén)的完全關(guān)閉和完全開(kāi)啟, 另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門(mén)的任意開(kāi)啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對(duì)清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).
HVA 3位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè), 遙控過(guò)渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬(wàn)使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
閥門(mén)材質(zhì)：
閥門(mén)主體
304不銹鋼
焊接波紋管軸封
AM-350
驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷(xiāo)
硬質(zhì)不繡鋼
閥門(mén)密封方式：
高真空
氟橡膠
漏率
<2×10-9 mbar l/s
差壓關(guān)閉
1 bar
真空：
壓力范圍
高真空1x10-9 mbar
漏率
< 2x10-9 mbar l/S
差壓關(guān)閉
1 bar (任意位置)
開(kāi)啟前 壓力
≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
閥門(mén)主體
150 °c
驅(qū)動(dòng)方式
氣動(dòng) 60 °c
使用壽命：100,000啟閉次數(shù)
公稱(chēng)通徑：DN100-320 mm
美國(guó) HVA 真空閥門(mén)-美國(guó) 真空閥門(mén)制造商。美國(guó)HVA原裝進(jìn)口真空閥門(mén)，超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門(mén)設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門(mén)在中國(guó)地區(qū) 指定總代理商。
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