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參數：
儀器尺寸：主機300mm×360mm×380mm（W×D×H）
蒸鍍 300mm×360mm×160mm（W×D×H）
真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×110mm（D×H）
靶（上部電極）：50mm× （D×H）
濺射靶材：Au
濺射靶材大小：φ50mm
樣品臺：樣品臺尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，樣品臺可調節高度。也可根據自身要求定制樣品臺
濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調
濺射電流：0-50mA
濺射定時：0-360S
蒸碳電流0-100A(AC)
蒸發材料：碳纖維
蒸發工作電壓：0-30V
蒸發時間：0-1S微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
可通入氣體：多種
輸入電壓：220V(可做110V),50HZ
真空泵：2升機械旋轉泵（國產VRD-8）