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1.靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度： 　純度： %
2、真空樣品室：直徑：160mm，高：110mm
3.樣品臺（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm
4．工作真空： 2×10-1—10-1mbar
5.離子電流表：0-50mA
6.計時器：根據(jù)濺射習慣設定單次濺射時間。
7.濺射電壓：-1600DVC
8.飛越真空泵（VRD-4）：
9.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣等多種氣體
10．針閥： 配有進氣口，微量充氣調節(jié)，可連接φ4* 軟管。