產品介紹
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺謝儀
GSL-1100X-SPC-16
本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：不需要
2、電：AC220V50Hz,有良好接地
3、氣：設備腔室內需充注氫氣（純度 %以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
5、通風裝置：不需要
1、電源：220V
2、總功率：<2000W(包括鎮空泵)
3、真空室：0160mm×120mm
4、樣品臺：O50mm,且高度可調，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜
5、max均勻鍍膜：045mm
尺寸：400mmx300mm×400mm
重量：30KG
1、金靶材1個
2、進氣針閥1個
3、保險絲2個
金、銦、銀、鉑等各種靶材
