產品介紹
產品名稱
VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀
產品型號
VTC-16-3HD
安裝條件
本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用.
1、水：不需要
2、電：AC220V50Hz,有良好接地
3、氣：設備腔室內需充注氣氣（純度 %以上），需自備氛氣氣瓶（帶壓減閥）
4.工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上
5、通風裝置：不需要
主要參數
1、輸入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)
2、輸出功率：1600VDC50mA
3、石英置：0160mm×120mm
4、樣品臺：050mm(可選購加熱型樣品臺，溫度可到500℃：濺射時間不可超過5min)
5、真空泵：120L/M旋片式真空泵
7、靶材：尺寸直徑047mm,厚度 -3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni
產品規格
尺寸：360mm×350mm×3600mm;
重量：50kg
可選配件
1、KF25真空接口、卡箍
2、不銹鋼波紋管(600mm)
3、旋片式真空泵(120L/M)
4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材
5、加熱型樣品臺
