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吸附脫附技術是一種相對傳統的處理方法，也相對較成熟，幾乎可針對各類的廢氣、具有投資成本小，運行簡單方便。但吸附脫附裝置應用的范圍并不是特別廣，氣主要制約因素是脫附問題。在脫附過程中存在脫附不完全、脫附能耗高的缺點。針對此缺點，并結合我公司的優勢，開發出了真空低溫脫附技術。 脫附的方式有很多，例如：熱脫附、惰性氣體保護熱脫附、置換脫附（水蒸氣置換脫附）、真空脫附、氧化劑氧化脫附等。一般脫附都需要加熱或者蒸汽鍋爐，而且還需要考慮干燥和預防自燃的問題。 真空脫附技術可以在很低的溫度下實現污染物的脫附。當吸附塔內的氣壓降低后，物質的沸點降低，VOCs從吸附劑表面蒸發出來，而后進入冷凝器冷凝為液體。 本技術根據污染物的特點可加以電加熱或微波輔助加熱技術，脫附效率高，脫附風量小，幾乎是純VOCs蒸汽，為后續冷凝帶來更大便利。