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常用名 四甲基二硅氮烷 
英文名 1,1,3,3-Tetramethyl Disilazane
CAS號 15933-59-2 
EINECS 240-072-2
分子式 C4H15NSi2 
分子量
密  度 g/mL
沸  點 ± °C
熔  點 99-100 °C
閃  點 - ± °C
性  狀 透明無色至淡的黃色液體
用  途 作硅烷化試劑和還原劑。