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常用名 三氯化硼 
英文名 Boron trichloride
CAS號 10294-34-5 
EINECS 233-658-4
分子式 BCl3
分子量
密  度 ± g/cm3 
沸  點 ± °C 
熔  點 ?107 °C
閃  點 84 °F
性  狀 透明無色液體
用  途 
1.用作半導體硅的摻雜源，有機合成催化劑;還可用于高純硼和有機硼化合物的制取
2.可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、硅酸鹽分解時的助熔劑、可對鋼鐵進行硼化。還可用來制造氮化硼及化合物。
3.主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。