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一.超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，超純水設備是將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備稱為超純水設備，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于 Ω*cm則稱為超純水。超純水系統設備通常由預處理部分，反滲透主機部分，后處理部分共同組成。