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超聲波掃描顯微鏡（C-SAM）此檢測為應用超聲波與不同密度材料的反射速率及能量不同的特性來進行分析， 利用純靜水當介質傳輸超聲波信號，當訊號遇到不同材料的界面時會部分反射及穿透，此種發射回波強度會因為材料密度不同而有所差異，來檢驗材料內部的缺陷并依所接收的信號變化將之成像。 是一種非破壞性的檢測組件的完整性，內部結構和材料的內部情況的儀器，作為無損檢測分析中的一種，它可以實現在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的應用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發（R&D）等領域。