產品介紹
全自動擴散爐采用電腦工控機軟件控制方式，該設備用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝。設備主要適合于3-6英寸工藝硅片的處理，具有多條工藝曲線，調用方便快捷；運行中，具有停電記憶功能觸摸微機界面，操作方便；具有超溫保護功能。
二．設備主要特點和優勢
1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
2★采用可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償，避免環境溫度變化，對爐膛溫度產生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制，避免馬達丟步，運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期，自動校準位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量控制，采用模擬信號閉環控制，強弱電分開，各種數據交互采用標準總線，提高抗干擾能力，保證數據安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報警功能及安全保護功能；
9★恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
