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利用數字源表進行Mini LED光電特性測試
實施Mini LED光電特性參數分析的Z佳工具之一是數字源表（SMU）。數字源表作為獨立的恒壓源或恒流源，輸出恒壓或恒流、還可以當作表，進行電壓或者電流測量；支持Trig觸發，可實現與光譜儀，探針臺，分選機等第三方設備聯動工作。
目前，光電性能檢測是通過Mini LED點測機實現的，用于測量晶圓上每一顆芯片。點測機的主要結構單元包括探針臺，電性能測試單元，光性能測試單元，以及上位機控制系統等。該工序根據實際情況，位于晶圓劃片前，或者后工序。設備基本構成主要包括探針臺，電子顯微鏡，SMU，ESD，工控機，積分球，光譜儀等。其中，SMU的作用是對芯片進行IV特性測試，同時在光學測試中，對芯片進行供電。
常用的電性能測試項目包括，VF1,VF2,IR,VZ,VFD,DVF等。
⑴ VF（正向電壓）測試， FIMV： 一般會測兩個點， D一個點VF1為 LED剛點亮時電壓， 第二個點VF2為LED 正常工作時的電壓；
⑵ VZ（反向擊穿電壓）測試， FIMV：一D反向電流時，器件兩端的電壓;
⑶ IR（反向泄露電流）測試， FVMI： 一D反向電壓時， 流過器件的電流；
⑸ DVF 測試，材料熱縮效應測試， FIMV： 對LED施加兩次不同的電流，并計算不同條件下的電壓差；
⑹ VFD 測試，正向電壓暫態峰值電壓測試， FIMV： 對LED施加一D的正向電流，同時采集電壓變化， 尖峰電壓與正常電壓的差值即為VFD；
Mini LED光電特性測試數字源表認準生產廠家武漢普賽斯儀表，詳詢一八一四零六六三四七六；
