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光氧等離子凈化一體機綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術結合，對廢氣和臭氣進行凈化處理。等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，采用脈沖高頻高壓等離子體電源，利用雙介質齒板放電北裝置，以放電形式產生等離子體，在毫秒級的時間內，把空氣和廢氣分子擊穿，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度各種活性自由基、電子、離子、臭氧、原子氧、生態氧等，在納秒級的時間內，瞬間對廢氣和臭氧分子進行氧化還原反應；活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能迅速將有機廢氣分子異味氣體分解可還原為低分子物質；另外，借助等離子體中的離子與物體的聚合吸附作用，可以對小至亞微米級的細微有機廢氣顆粒物進行有效的吸附沉降處理。