產品介紹
產品名稱: 四氟化碳
其他名稱: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
產品純度: ~ 9%
包裝說明:47L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質閥門，閥門型號CGA660；40L高壓無縫鋼瓶，凈重30kg/瓶，瓶頭閥是銅質閥門是QF-2，出口螺紋是G5/8 產品說明
四氟化碳在常溫常壓下是無色無臭有輕微醚味，較易揮發的不燃燒的壓縮氣體，是化學性質非常穩定的有機物。充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業中用量的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在硅和二氧化硅體系中，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性。在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
