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儀器分析包括的方法十分龐大。這無疑為解決分析問題提供了多種途徑，但是也為選擇一種合適的分析方法帶來一定的困難。為此，在著手進行分析前不僅要了解試樣的基本情況及對分析的要求，更重要的是要了解選用分析方法的基本性能指標，如精密度、靈敏度、檢出限、線性范圍等。 (1) 精密度 儀器的精密度是儀器對同一樣品平行測定多次所測得的數據間相互一致性的程度。它是表征儀器測定隨機誤差大小的一個量。按照國際純粹與應用化學聯合會 (簡稱IUPAC) 的有關規定，精密度通常用相對標準偏差 (即RSD) 來量度。即使同一儀器，對不同檢測項目、濃度水平等，精密度不同。 (2) 靈敏度 儀器的靈敏度是指儀器區別具有微小差異濃度分析物能力的度量。IUPAC的規定，靈敏度的定量定義是校正靈敏度，它是指在測定濃度范圍中校正曲線的斜率。在分析化學中使用的許多校正曲線都是線性的，一般是通過測量一系列標準溶液來求得。在有些光譜儀器分析中，有該儀器習慣使用的靈敏度的概念，如在原子吸收光譜法中，常用“特征濃度”即所謂1％凈吸收靈敏度來表示。在原子發射光譜法中也常采用相對靈敏度來表示不同元素的分析靈敏度，它是指能檢出某元素在試樣中的最小濃度。 (3) 檢出限 在誤差分布遵從正態分布的條件下，由統計的觀點出發，可以對檢出限作如下的定義：檢出限是指能以適當的置信概率被檢出的組分的最小量或最小濃度。它是由最小檢測信號值導出的。 檢出限與靈敏度是密切相關的兩個量，靈敏度越高，檢出限值越低。但兩者的含義是不同的。靈敏度指的是分析信號隨組分含量變化的大小，因此，它同檢測器的放大倍數有直接的依賴關系，而檢出限是指分析方法可能檢出的量或濃度，是與測定噪聲直接相聯系的，而且具有明確的統計意義。從檢出限的定義可以知道，提高測定精密度、降低噪聲，可以改善檢出限。 (4) 校正曲線的線性范圍 線性范圍是指從定量測定的濃度擴展到校正曲線保持線性濃度的范圍。不同儀器線性范圍差異較大，如在原子吸收光譜法一般僅1～2兩個數量級，而電感耦合等離子體原子發射光譜法可達5～6個數量級。 (5) 分辨率 分辨率是指光譜分析儀器對兩相鄰譜線分辨的能力。儀器分辨率越高，表明該儀器能很好地將兩相鄰譜線分離而沒有重疊。儀器分辨率主要取決于儀器的分光系統和檢測器等。 (6) 選擇性 儀器的選擇性是指該儀器不受試樣基體中所含其它類物質干擾的程度。然而，任何儀器均可能存在其它物質的干擾，一般需要通過特定的方法來克服或校正儀器的干擾。