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真空泵油是一種特地為真空裝置上的真空泵而研發制成的光滑油，真空泵油分為礦物油和合成油兩種。真空泵油具有氧化穩定性：長期處在高溫條件下，并且與空氣、樹脂、化學原料等物質直接接觸亦不容易發生變質，減少產生有害漆膜和油垢，提供較長的換油周期時間；具有防銹防腐蝕性：能在金屬外表構成十分有效的防腐膜，從而能夠完全避免因吸入腐蝕性氣體和水分而導致的系統腐蝕。