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真空泵在長期運用后，真空泵會出現真空度降低、密封處漏油、真空泵運轉停滯等現象，以至于造成嚴重的油污染、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲，真空泵腔內掉落硬物劃傷真空泵腔、導致真空泵過熱等不正常現象，這時必需對真空泵進行拆洗。有以下8個步驟：
1、切斷真空泵的電源，將真空泵從真空設備上拆下來。?
2、用重力法或者是加壓法將廢油排放出來并搜集起來，避免污染環境。
3、將皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶)拆卸下來。
4、先將低真空端拆下來，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等。
5、將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等。
6、將視鏡、排氣閥、排氣蓋等拆卸下來。
7、將所有拆下來的金屬零件用汽油清洗潔凈，并且用酒精脫水。橡膠零件能夠用15%的氫氟化鈉水溶掖煮沸去油。對有毛刺或生銹的零件；能夠用油石或金相砂紙磨去，可以去除銹斑和毛刺。清洗后的零件必需烘干。
8、真空泵裝配時，先裝后級，將彈簧、旋片托起裝入轉子內，然后放進真空泵腔。裝上前端蓋，再裝定位銷，平均對稱地擰緊螺釘。裝配后，應該轉動靈敏、平均。裝好前級轉子及后端蓋后，再裝排氣閥及剩余部件。
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