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德圖氣探針電子探針分析是指以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線，對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗。詳細介紹
德圖氣探針
以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線,對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗,又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是:以動能為10~30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特征X射線。
用波長色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測計數系統,測量特征X射線的波長(或能量)和強度，即可鑒別元素的種類和濃度。
在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內、原子序數4以上的所有元素;但是對原子序數小于12的元素，其靈敏度較差。常規分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達十萬分之一。檢測的絕靈敏度因元素而異，一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對原子序數高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優于±2%
德圖氣探針
電子探針儀是X射線光譜學與電子光學技術相結合而產生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了一臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結構上有許多共同處。70年代以來生產的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附
電子探針分析
電子探針分析
加另一些附件，使之除作微區成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。
電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統(電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統和顯示、記錄系統、樣品室、高壓電源和掃描系統以及真空系統。
德圖氣探針
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