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本シリーズは、超高真空領(lǐng)域から高?中?真空領(lǐng)域まで安定した圧力を得るためにESV-6以下は環(huán)狀ヒータ、ESV-8以上は內(nèi)熱式シーズヒータを採用し、超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。
ESVシリーズは油を加熱するための熱効率を良くしてあるため（當(dāng)社比）作動時間が速く、排気量が大きく臨界背圧が高いのが特長です。また、作動油量も少なくて済みます。