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真空燒結爐是指在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，其加熱方式比較多，如電主要用于半導體元器件電力整流器件的燒結、封裝等工藝；可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結。也用于低溫、低真空的工藝處理。設計合理、結構緊湊，可在一臺設備運行多條工藝。本系列設備主要分為單工位真空燒結爐、雙工位真空燒結爐、三工位真空燒結爐、立式真空燒結爐。 產品特點 ● 關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性 ● 具有可編程的升、降溫功能 ● 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置 ● 具有高抗干擾能力 ● 具有斷偶報警、超溫報警等多種安全保護功能 ● 自動或手動自由轉換 技術參數 ● 爐膛材質：石英管、不銹鋼 ● 真空室工位：1～3工位 ● 工作室內徑：Φ100～Φ350mm （定制） ● 工作溫度：300～1200℃ ● 恒溫區精度：≤±2 ℃ ● 恒溫區長度：300～1000mm （定制） ● 真空系統：機械泵+擴散泵/分子泵 （定制） ● 真空度：5 x 10-3Pa ● 工藝氣體：N2、Ar、H2等 ● 正壓、負壓均采用數字顯示 ● 工作方式：自動或手動自由轉換 ★ 可為用戶量身定制非標準產品