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高效過濾器主要用于捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物，作為各種過濾系統的末端過濾。采用超細玻璃纖維紙作濾料，膠板紙、鋁箔板等材料折疊作分割板，新型聚氨酯密封膠密封，并以鍍鋅板、不銹鋼板、鋁合金型材為外框制成。潔凈度級別等于或高于100級的潔凈車間的高效過濾器安裝前必須作現場檢漏，重點是檢查過濾器有無破損漏泄等自身質量。所有級別的潔凈車間，都要求對其安裝好的高效過濾器作檢漏，在現行規范沒有給出檢查數量時，可以自定一個比例，安裝檢漏的重點是空氣過濾器邊框密封質量。