產(chǎn)品介紹
新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備更加通用，耐用以及可靠。
擴(kuò)展了Z軸范圍 – , 5mm or 100mm
透射照明
完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)
符合人體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合
全自動(dòng)顯微鏡，所有設(shè)置計(jì)算機(jī)控制
很好分辨率像素?cái)z像頭
VIEW Metrology Software (VMS?) 可測(cè)組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。
MMWin – 晶圓片 和Mask計(jì)量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
標(biāo)準(zhǔn) 可選
X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 ‘/載重: 12 kg
XY精度: E1=( +2L/1000)um
Z 精度: E1=( )um (with use of a 100X lens)
分辨率： 微米
視場(chǎng)測(cè)量精度和重復(fù)性： μm (100x)
直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
