產品介紹
7134_ADT切割機/Dicing（多角度）
7134多角度切割機擁有 4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時 。直流無刷電機，閉環速度控制。覆蓋12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。
系統配有閉環轉向臺，針對多角度切割進行優化，適用各種產品，例如：
·陶瓷基板
·氧化鋁
·混合物
·厚膜設備等
ADT切割機/Dicing 7134系統規格：
大面積系統配置：300mm x 300mm
刀片尺寸：4"-5"
主軸：空氣軸承，直流無刷，30 krpm/ kW
分度軸（y）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
控制：線性編碼器
分辨率： μm
累積精度： μm
分度精度： μm
傳送軸（X）
氣動滑塊
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機
傳送速度：高達 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
分辨率： μm
精度： μm
重復精度： μm
行程：50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸
驅動：閉環、直接驅動、直流無刷
精度：4 arc-sec
重復精度：4 arc-sec
行程：350度
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