產品介紹
帶有對應PLP自動校準功能的4軸水平多關節型晶圓搬運機械手臂
帶有對應PLP自動校準功能的4軸水平多關節型晶圓搬運機械手臂特點：
適用于并列配置工位的傳送
非接觸校準功能可實現搬運
可搬運重量10kg
帶有對應PLP自動校準功能的4軸水平多關節型晶圓搬運機械手臂基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 1290 mm (被搬送物體中心到達距離)
升降軸MAX行程 400 mm
可搬運質量 10 kg (手臂第3關節處基準)
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