產品介紹
（防水）3軸晶圓搬運機械手臂
——配備晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構
（防水）3軸晶圓搬運機械手臂特點：
防水3軸晶圓搬運機械手臂SWCR3000系列
在保護等級IP64 LSI半導體生產工藝條件下，能夠在酸性，堿性環境下搬運半導體晶圓
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
手臂關節部位防水結構使用V型密封圈
零件之間的結合面采用Viton材質的密封條
Z軸的防水結構可以使用蛇腹管
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，搬運半導體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供手指
3軸晶圓搬運機械手基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 312mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程 200mm / 300mm
可搬運質量 3kg以下 (手臂第3關節處基準)
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