產(chǎn)品介紹
防水式4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
防水4軸圓柱坐標型機械手臂特點：
防水4軸圓柱坐標型機械手臂STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu)）
能夠在酸性，堿性霧氣環(huán)境下搬運半導(dǎo)體晶圓
機械手臂標準臂長：160 mm、200 mm
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈
零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條
Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供手指
防水4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 雙臂
到達距離 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸MAX行程 300mm
可搬運質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)
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