產品介紹
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂適用于半導體，可晶圓搬運
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點：
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運
全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性價比優勢
機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用 值編碼器規格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優的手指
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 400mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸MAX行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運質量 4kg (手臂第3關節處基準)
如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬
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