產(chǎn)品介紹
桌面型多功能等離子設(shè)備可在真空腔室內(nèi)產(chǎn)生密集,均勻的等離子體
桌面型多功能等離子設(shè)備概要：
是針對研發(fā)、試產(chǎn)需求設(shè)計的桌面型多功能等離子處理系統(tǒng)。其緊湊可靠的設(shè)計可在真空腔室內(nèi)產(chǎn)生密集、均勻的等離子體，適用于等離子表面處理、表面刻蝕以及其它多種工藝應(yīng)用。
桌面型多功能等離子設(shè)備特點(diǎn)：
·設(shè)計緊湊的桌面型等離子工藝平臺，易于與廠務(wù)端連接
·可靠的腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保工藝腔體具備氣密性與耐用性
·排氣設(shè)計，保證工藝過程的均勻性
·支持多種電極形式與4路工藝氣體，適用于處理各種產(chǎn)品并適應(yīng)多種工藝要求
·直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程
· 射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性
*需要詳細(xì)參數(shù)資料，請聯(lián)系我們
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