產(chǎn)品介紹
GaN氮化鎵晶圓減薄機(jī)GNX200BH_岡本
適用于硬質(zhì)材質(zhì)減薄：
GaN氮化鎵晶圓減薄機(jī)GNX200BH是一臺(tái)可研磨超硬材料的全自動(dòng)減薄設(shè)備，采用大功率主軸和高剛性鑄件，可以大幅縮小加工公差。
岡本GNX200BH_GaN氮化鎵晶圓減薄機(jī)規(guī)格：
項(xiàng)目 參數(shù)
主軸 雙研磨主軸
工作盤 三個(gè)工作盤
晶圓材質(zhì) 碳化硅、氮化鎵、硅、玻璃、微機(jī)械系統(tǒng)、等…
功率 8P
尺寸 1350 mm x 2515mm x 1841mm
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