產(chǎn)品介紹
半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6120
半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6120規(guī)格：
晶圓尺寸：8”& 12”晶圓；
常規(guī)產(chǎn)品厚度：200~750微米；
Bump產(chǎn)品厚度：晶圓 200～400微米；
凸塊 50～200微米；
晶圓翹曲：≤5mm；
晶圓種類：硅, 砷化鎵或其它；
單平邊，V型缺口；
膠膜種類：藍(lán)膜或者UV膜；
寬度：240~340毫米；
長(zhǎng)度：100米；
厚度： ~ 毫米；
貼膜原理：防靜電滾輪貼膜；
滾輪溫度：室溫～80攝氏度；
貼膜動(dòng)作：自動(dòng)拉膜和貼膜；
晶圓臺(tái)盤：二合一特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤或硅膠臺(tái)盤，臺(tái)盤溫度：室溫～100℃；
裝卸方式：晶圓手動(dòng)放置與取出；
防靜電控制：防靜電特氟龍涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器；
切割系統(tǒng)： 的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀，適用于不同的晶圓外形，刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)，無(wú)任何飛邊并省去修邊；
的手動(dòng)直切刀，為世界 省膜的設(shè)計(jì)；切割刀溫度：MAX達(dá)150℃；
晶圓定位：通用標(biāo)線/彈簧銷釘；
控制單元：基于PLC 控制，并帶 ”觸摸屏；
安全防護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：相交流電220V,10A；
壓縮空氣：5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 立方英尺；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
體積：670毫米(寬)*1180毫米(深)*550毫米(高)；
凈重：85公斤；
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