產(chǎn)品介紹
半自動(dòng)晶圓減薄后撕膜機(jī)STK-520 衡鵬瑞和
半自動(dòng)晶圓減薄后撕膜機(jī)是桌上型/適用于 4”&5”&6”&8”晶圓/操作簡(jiǎn)便。
半自動(dòng)晶圓減薄后撕膜機(jī)STK-520規(guī)格參數(shù)：
晶圓尺寸：4”&5”&6”&8”晶圓；
厚度：150 ~750 微米；
撕膠膜種類：撕膜膠帶；
寬度：38~100 毫米；
長(zhǎng)度：100 米；
撕膜角度：<45 度，并且在 5°~45°可調(diào)節(jié)；
撕膜溫度：室溫到 100 ℃范圍可調(diào)，控溫精度+/-3℃；
裝卸方式：晶圓手動(dòng)放置與取出；
控制單元：基于 PLC 控制，并配有 ”觸摸屏；
驅(qū)動(dòng)單元：伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；
安全保護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：?jiǎn)蜗嘟涣麟?220V，6A；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
機(jī)器指示：三色燈塔顯示機(jī)臺(tái)工作狀態(tài)；
體積：560 毫米(寬)x1060 毫米(深)x870 毫米(含燈塔高)；
凈重：75 公斤；
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