產品介紹
半自動晶圓減薄后撕膜機STK-520 衡鵬瑞和
半自動晶圓減薄后撕膜機是桌上型/適用于 4”&5”&6”&8”晶圓/操作簡便。
半自動晶圓減薄后撕膜機STK-520規格參數：
晶圓尺寸：4”&5”&6”&8”晶圓；
厚度：150 ~750 微米；
撕膠膜種類：撕膜膠帶；
寬度：38~100 毫米；
長度：100 米；
撕膜角度：<45 度，并且在 5°~45°可調節；
撕膜溫度：室溫到 100 ℃范圍可調，控溫精度+/-3℃；
裝卸方式：晶圓手動放置與取出；
控制單元：基于 PLC 控制，并配有 ”觸摸屏；
驅動單元：伺服馬達驅動；
安全保護：配置緊急停機按鈕；
電源電壓：單相交流電 220V，6A；
機器外殼：白色噴塑金屬外殼；
機器指示：三色燈塔顯示機臺工作狀態；
體積：560 毫米(寬)x1060 毫米(深)x870 毫米(含燈塔高)；
凈重：75 公斤；
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