產(chǎn)品介紹
100級無塵烤箱CM-100T_晶圓PI膠固化
100級無塵烤箱CM-100T箱體結(jié)構(gòu):
·烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱器及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外型美觀大方
·全周氬弧焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電加熱器,防止機臺本身產(chǎn)生微塵
·箱體材料:SUS304#不銹鋼板
·內(nèi)膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污以避免烘烤時產(chǎn)生微塵
·中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬弧焊密封加工(防污染)
·保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品,100K級高密度高保溫板制造
·電熱器:采用進口覆套式電加熱器 (SHEATHED HEATER),為無塵化電熱發(fā)生器
·潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無塵化配件及材料
CM-100T(100級無塵烤箱)規(guī)格:
無塵等級 Class 100
溫度范圍 室溫~+250℃
升溫速度 常溫~+200℃, 升溫斜率程序可控
溫度均勻度 ±1%;(空載)
工作室尺寸 W600×H550×D500 mm
外形尺寸 W1100×H1700×D1220 mm
加熱功率 14kw
層板 共2片
環(huán)境條件 溫度 5~40℃;濕度 ≤85%
電源 AC380v , 三相,50Hz
氣壓 86~106Kpa
使用條件 無強烈振動,無強磁場影響,無腐蝕性氣體
箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供設(shè)備安裝、維修使用
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