產(chǎn)品介紹
ATW-200全自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)由真空晶圓搬運(yùn)機(jī)器人構(gòu)成
AMSEMI ATW-200全自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)特點(diǎn)：
·ESD滾柱滾邊
·全自動(dòng)膠帶供應(yīng)和安裝
·帶有真空叉的多鏈接晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的構(gòu)成
·晶圓位置和翹曲智能映射
·晶圓對(duì)準(zhǔn)用光纖傳感器
·ESD接觸式晶片吸盤(pán)加熱裝置，用于處理各種晶片（可選）
·晶圓盒的裝入&卸載
·15英寸觸摸屏LCD控制標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)PC
·全鋁型材框架
·內(nèi)置離子風(fēng)機(jī)，用于ESD保護(hù)
·下部張力控制技術(shù)
AMSEMI全自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)ATW-200規(guī)格：
晶圓直徑：4”&5”,6”&8”
晶圓厚度：300~725um
尺寸：1300mm(W)×1500mm(D)×1750mm(H)
重量：約600Kg
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