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有機廢氣進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能 率地照射，瞬間產生光解反應；經過等離子體電場時，產生裂變分解反應；如此協同 地產生一系光解和分解反應，經過多級凈化后從而達標排放。