產(chǎn)品介紹
光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、國防軍工、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中?？蓽y各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/GBT國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)近百余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
行業(yè)應(yīng)用及特點：
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺點、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
