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瑞徽電子（上海）有限公司
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MTI晶圓幾何特性檢測Proforma300系列
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產品介紹
MTI晶圓幾何特性檢測Proforma300系列
晶圓幾何特性檢測（Wafer Measurement Systems）設備包括從手動到全自動的系列產品.
檢測幾何參數包括：Thickness, TTV, Bow, Warp, and Flatness.
·采用 的Push/Pull電容傳感測試技術,可測試GaAs、SiC、Si等半導材料.
·對普通電容傳感式設備無法監測的高阻率材料,該設備都能監測.
·產品以 ASTM Specifications 為標準.


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