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低的蒸汽壓：這是真空泵油的重要性能指標。蒸汽壓越低真空度就會越高，由于旋片真空泵要求真空度達到 ，高的要求達到 ×10^－4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸發性ji低．一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
2.合適的粘度，良好的粘溫特性：真空系統利用泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。（粘溫特性是指，隨著泵內溫度的升高或降低，真空油的粘度會產生變動。粘溫特性好的真空油，粘度隨溫度的變動就越小。）
3.良好的熱氧化穩定性：真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環境溫度下工作，熱氧化差就會使真空泵油氧化變質。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的熱氧化穩定性。
4.良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。
5.較高的閃點：要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
工業真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破 極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。