產(chǎn)品介紹
在抽真空的過程中,一些機(jī)械真空泵在前期都有著較大的抽速,但是在接近極限壓力的時候,比如低于1Pa甚至更高的真空壓力時,其抽速就會大幅降低,達(dá)不到額定抽速。比如螺桿真空泵廠家的螺桿真空泵產(chǎn)品從大氣壓下到100Pa左右都可以保持近似滿抽速運(yùn)行,但隨后抽氣效率就會逐漸降低,到1Pa真空度后,抽速會逐漸降至0。因此螺桿真空泵從大氣壓抽至百帕后,向極限 真空邁進(jìn)的過程需要耗時很長。也就是說,達(dá)到一定真空度后會出現(xiàn)一個低抽速區(qū),如果不提高吸入口的壓力,抽氣效率就會很低。
因此在這個壓力區(qū)間時,需要有一個能實(shí)現(xiàn)大抽速的真空泵,將真空室中的低壓氣體壓縮到適合的較高壓力,再進(jìn)入到螺桿真空泵等前級泵的吸入口,以保證真空系統(tǒng)有穩(wěn)定的抽速與較大的抽氣效率。因?yàn)樵鰤旱倪@個過程,這個真空泵顧名思義就稱之為增壓泵。
而羅茨真空泵作為一種機(jī)械真空泵,在 ~100Pa區(qū)間范圍都有著很高的抽氣速率與效率,在這個增壓過程中就非常適合,因此應(yīng)用中就被稱作為機(jī)械增壓泵。此外增壓泵除機(jī)械增壓泵外,還有是油增壓泵,原理類似于油擴(kuò)散泵,但泵油有所區(qū)別。當(dāng)然我們也可以看出,機(jī)械增壓泵工作于一定的壓力區(qū)間,無法單獨(dú)使用,必須與其他作為前級泵的機(jī)械真空泵配合,或者連接真空度更高的真空泵以及前級泵三者配合使用。
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