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山東卡特智能機器人有限公司
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潔凈機器人--大氣機械手
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產品介紹
ktrobot01  產品特色

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 高速傳片效率

 光刻


 MCBF大于1000萬次

 ETCH


 SEMI認證S2、F47

 CVD


 網絡化控制器

 PVD


 手指及接口可用戶定制

 MOCVD


 采用真空負壓吸附

 TRACK


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