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因為碳分子篩（CMS或MSC）的親水性比沸石低但具有分子篩特性，所以用于含濕氣流的分離過程更加有效。碳分子篩的篩分特性源于其 的孔結構。因為前述特性以及一系列其他一些有前景的特性，碳分子篩已引起了人們的廣泛興趣。自20世紀70年代以來，以專利工藝為基礎上開始了CMS的工業化生產。盡管生產過程的細節各有不同，但總的來說是相似的而且都是在Walker的先驅工作基礎發展起來的。CMS已用于世界范圍的空氣分離制氮。