潔凈室(Clean Room),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。潔凈程度和控制污染的持續穩定性,是檢驗潔凈室質量的核心標準。
潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
控管項目
1、除去空氣中飄游的微塵粒子
2、防止微塵粒子的產生
3、溫度和濕度的控制
4、壓力的調節
5、有害氣體的排除
6、結構物與隔間的氣密性
7、靜電的防制
8、電磁干擾預防