蘇州工業(yè)園區(qū)浩高電子科技有限公司
主營產(chǎn)品：老化測試,無損檢測,X-Ray,超聲波焊線機(jī),LED芯片測試
把掩膜版上的圖形按照一定的比例縮小復(fù)制到涂布有光刻膠的晶圓上，分區(qū)域進(jìn)行步進(jìn)式曝光。本機(jī)臺(tái)可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圓高精度投影曝光，曝光精度可達(dá)500nm。
技術(shù)指標(biāo)：
RESOLUTION：0.5μm
LENSDISTORTION：≤0.9μm
RETICLEALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
STEPPINGACCURACY：≤0.08μm
OVERLAYACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
OPEN FLAME(MAX.EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm
