新款氧化鋁陶瓷環(huán)供銷-新款氧化鋁陶瓷環(huán)
所在地:廣東省東莞市
聯(lián)系人:曹先生
價格:28
品牌:礫石,,,,
發(fā)布時間:2024-09-01
【產(chǎn)品詳情】新款氧化鋁陶瓷環(huán)供銷-新款氧化鋁陶瓷環(huán)
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新款氧化鋁陶瓷環(huán),
靶材的主要性能要求
純度
純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。
東莞市礫石實業(yè)投資有限公司是集氧化鋁陶瓷環(huán)生產(chǎn)、營銷于一體的礫石實業(yè)擁有可靠的技術人員和生產(chǎn)管理團隊,國內(nèi)成熟生產(chǎn)設備和高新技術,我們的氧化鋁陶瓷環(huán)銷售地區(qū)遍及全國。公司自2009-08-05成立以來,憑借良好的信譽和有品質(zhì)的絕緣材料產(chǎn)品,以及有效的售后服務在業(yè)內(nèi)取得了良好口碑。
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