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靶材的主要性能要求

純度

純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

礫石實業(yè)在注重產(chǎn)品質(zhì)量和企業(yè)信譽的同時，不斷引進可靠技術(shù)人才和現(xiàn)代化經(jīng)營管理模式，嚴格控制氧化鋁陶瓷導(dǎo)線輪質(zhì)量，以精巧的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、完善的售后服務(wù)呈現(xiàn)于廣大工業(yè)陶瓷使用人群。作為氧化鋁陶瓷導(dǎo)線輪的一貫銷售方式，主要是通過批發(fā);廠家;網(wǎng)上銷售的方式售給全國客戶群眾，并支持陸運等物流方式。

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