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氧化鋁電氣陶瓷件出售-東莞地區具有口碑的氧化鋁電氣陶瓷件供應商

供應商:東莞市礫石實業投資有限公司【公司商鋪】

所在地:廣東省東莞市

聯系人:曹先生

價格:15

品牌:礫石,,,,

發布時間:2024-08-08

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【產品詳情】氧化鋁電氣陶瓷件出售-東莞地區具有口碑的

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礫石實業配有國內外成熟的氧化鋁電氣陶瓷件生產設備、穩定熟練的生產和銷售團隊,多年的氧化鋁電氣陶瓷件生產經驗,頗具競爭優勢的銷售價格,以及高能的售前、售后服務贏得了廣大工業陶瓷使用人群的信賴與支持。用戶間的口碑相傳成為公司發展的重要資源。作為礫石實業公司主導產品之一,氧化鋁電氣陶瓷件具有優越的實用性,質量可靠等特點,被廣泛用于耐磨零件。

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靶材的主要性能要求

純度

純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”, 8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質含量

靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

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