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精密高頻氧化鋁陶瓷板廠家推薦-東莞地區優良氧化鋁陶瓷板供應商

供應商:東莞市礫石實業投資有限公司【公司商鋪】

所在地:廣東省東莞市

聯系人:曹先生

價格:15

品牌:礫石,,,,

發布時間:2024-05-03

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【產品詳情】精密高頻氧化鋁陶瓷板廠家推薦-東莞地區優

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礫石實業在注重產品質量和企業信譽的同時,不斷引進可靠技術人才和現代化經營管理模式,嚴格控制氧化鋁陶瓷板質量,以精巧的產品生產工藝、完善的售后服務呈現于廣大工業陶瓷使用人群。作為氧化鋁陶瓷板的一貫銷售方式,主要是通過批發;廠家;網上銷售的方式售給全國客戶群眾,并支持陸運等物流方式。

東莞市礫石實業投資有限公司是一家整合氧化鋁陶瓷板設計、生產、銷售、售后于一體的可靠公司,礫石實業致力于向工業陶瓷使用人群提供包含好的應用方案設計,好的絕緣材料產品,經過多年的開拓和發展,供應的氧化鋁陶瓷板受到全國的廣大用戶的一致好評。公司產品齊全,價格合理,質量過關,是諸多消費者的理想選擇。

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靶材的主要性能要求

純度

純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”, 8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質含量

靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

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