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晶圓切割后清洗，CO2雪花清洗是干冰清洗的另一種形式|雪花清洗技術雪花清洗|干冰雪花清洗|CO2雪花清洗冰清洗和雪花清洗的原理CO?干冰清洗· 清洗的原理1.干冰顆粒（1-3um) 用高壓空氣壓噴到工件表面2.表面污垢受冷變形，干冰的沖擊和壓力將污垢沖/吹離表面3.干冰升華600倍體積膨脹，爆散離開表面的污垢4.輔助吸塵或外部氣流工件帶走粉塵?！?清洗的本質1.干冰顆粒一直運送到噴嘴，噴出干冰，2.靠干冰沖擊和壓力清洗3.需另加：洗后平行至后吸塵或用壓縮空氣。· 工藝和設備液態輸運→儲罐→控溫調壓→輸液→制冰機→干冰→儲冰機→輸冰→干冰切割機→輸冰→噴射控制系統→干冰噴嘴→噴出壓縮空氣/吸風+ 送排風CO? 雪花清洗· 清洗的原理1.CO?液體（6bar）噴出后，產生雪花晶體(0.3-1um)，噴敷到工件表面。2.表面污垢受冷微變形，3.雪花升華產生600倍體積膨脹，爆開污垢，4.平行噴出的壓縮空氣將粉塵吹離工件表面?！?清洗的本質1.CO?液體一直運送到噴嘴,噴后產雪花，2.靠CO?升華微爆力清洗3.洗后平行至后用壓縮空氣?！?工藝和設備液態輸運→儲罐→調壓升溫→輸液→雪花控制系統→雪花噴頭→噴出送排風兩種清洗系統的比較迪史潔（上海）清洗設備有限公司，專注于干冰、設備研發、生產、銷售及干冰清洗服務于一體的高新企業，目前在上海、蘇州、廣東、成都、武漢、合肥等地都擁有自己生產基地和銷售團隊。公司于2018年獲高新技術企業殊榮，并成功通過了ISO9001質量管理體系，ISO14001環境管理體系，OHSAS18001管理體系認證等，且擁有幾十項專利技術。

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