小徑晶圓用_3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂 小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點：  超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂SSCR3090S系列 適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優化機械手臂的空間尺寸， 有利于實現設備的小型化 機械手臂標準臂長：90mm 同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂 全軸使用2相步進電機 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式 手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供手指 小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂基本參數： 使用環境                        潔凈間內的大氣環境 手臂                              單臂 到達距離                        175mm (手臂第3關節中心到達距離) 升降軸MAX行程              150mm 可搬運質量                     0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm 小徑晶圓用_3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂相關產品： 衡鵬供應 防水式/真空3軸晶圓搬運機械臂 帶翻轉機構的/防水式/水平多關節型4晶圓搬運機械手臂 水平多關節型/真空5軸晶圓搬運機械手